背板

靶材和背板完美綁定是濺鍍工藝的一個關鍵環節，從而為濺鍍提供最大導熱性能和機械強度。為了滿足使用者濺鍍鍍膜的需要， 能夠依據靶材材質的特點或客戶的需要，針對特定設備提供全系列背板，對靶材和背板提供高溫，低溫或粘接綁定服務。靶材背板的合理選擇與綁定能夠提高靶材的使用壽命以及鍍膜的效率，并且還能提高薄膜系數達成率。    

綁定方式 
使用金屬銦(Indium)綁定
銦綁定是黏合于蒸鍍濺鍍靶材及背板的中間。主要綁定材料可以完全性的保護阻隔靶材。金屬綁定技術具有良好的導電及導熱性，也可供DC及RF電流所使用。此種綁定可承受溫度高達156°C。

Elastomer 材質綁定
這種彈性的綁定技術是具有專利的，最初是沒有辦法將金屬有效的綁定在金屬上。但此種技術這幾年有很大的發展，現在在我司業務上占有相當高的比例。由于銦價格上漲，此種綁定技術是符合成本利益效應的替代方案。因靶材及背板都為耗材，回收銦的這塊也比較不符合經濟效益。

背板材料：銅、鋁、鈦，鉬，不銹鋼等
背板尺寸：2,000 × 1,500 mm
最快備貨時間：1-3天 
綁定覆蓋面：≧95%